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微量氧的幾種分析方法介紹

更新時間:2020-06-15點擊次數:1889
   微量氧分析儀為檢驗度制程氣體中的微量含氧,以確保制程氣體的度,避免管路泄漏破損滲入大氣中的氧氣破壞制程品質,增進制程良率,并依各制程對制程氣體管路含氧量之要求,進行必要之測試設備。
  
  微量氧的分析方法主要有比色法、黃磷發光法、化學電池法、濃差電池法和氣相色譜法。
  
  1、比色法是較早采用的分析方法,它是國家標準規定的方法,利用銅氨溶液進行比色分析,由于操作復雜,準確度難以保證,并且不能實現自動在線分析,現在已很少采用,不過它還是一種仲裁方法。
  
  2、黃磷發光法是利用氧氣與黃磷氧化燃燒進行分析,具有分析速度快,可以連續分析的特點,但該方法采用的黃磷是危險化學品,生成的產物具有腐蝕性,并且檢測限低,所以現在已很少采用。
  
  3、化學電池法指的利用氧化還原電池的原理進行微量氧分析,它的傳感器(檢測器)是化學原電池,主要由一個陰極,一個陽極和電解液組成,以上部件密封于惰性的殼中,被測氣體中的氧進入電池中陰極附近O2得到電子,陽極由金屬鉛制成,失去電子本身被氧化,電池產生的電子由電路引出然后進行補償修正放大,即可測出被測氣體中的氧含量。
  
  4、濃差電池法也稱為氧化鋯電池法,它是利用氧化鋯元件為檢測器的關鍵部件,以它為主體構成測氧電池,包括氧化鋯管及涂制在管底部的鉬電極和電極引線,電極引線可將信號引出;加熱爐用于加熱氧化鋯管,使它恒定在設定溫度(780±10℃)上;標氣管用于接通標氣,校準探頭;熱電偶用于測量氧電池中的溫度,接入變送器溫控系統;接線板設有信號、熱電偶和加熱爐三對接線柱,其它還有過濾器、安裝法蘭和探頭外殼。
  
  氧化鋯濃差電池的主要缺點是還原性雜質對微量氧的分析有影響。因為在500-800攝氏度的情況下,還原性物質可以與氧發生反應,消耗氧使分析結果偏低,它的主要優點是量程范圍寬,可覆蓋常量至微量的氧含量分析,使用方便,使用壽命長。
  
  5.氣相色譜法、進行微量氧分析的優勢在于多種雜質可以同時檢測,因為空分氣體中的雜質分離比較容易,所以色譜柱系統的配置簡單。在進行包含微量氧的多種雜質檢測時,選擇色譜分析比較合適。可以選擇的色譜檢測器主要有熱導檢測器、電子捕獲檢測器、氦離子化檢測器、氬離子化檢測器、放電離子化檢測器、原子發射檢測器(AED)等。
  
  色譜法進行微量氧分析的缺點是無法實現真正意義上的在線分析,就是所不能對微量氧進行實時監控,需要間斷的檢測,并且設備系統復雜,需要載氣、輔助氣等。
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